全自动ic电信号测试装置及测试方法

文档序号:9248572
全自动ic电信号测试装置及测试方法
【技术领域】
[0001]本发明涉及半导体器件测试领域,特别地涉及一种全自动IC电信号测试装置以及测试方法。
【背景技术】
[0002]众所周知,波形处理装置包括根据数字控制信号使测试信号延迟的可变延迟???。跳跃施加控制??榘ú婊莸乃婊莶饕约安也ㄊ莸恼也ú?。而且,跳跃施加控制??楦葑运婊莶骷罢也ú魇涑龅氖?,输出表示随机跳跃的数字控制信号及表示正弦波跳跃的数字控制信号??梢越┘恿怂婊净蛘也ㄌ镜牟馐孕藕鸥秤鐸C器件,以对该IC器件的跳跃性能进行测试。
[0003]然而,对于在器件之间传输的传输信号所加的跳跃,众所周知的是由传输线路损耗产生的跳跃以及由符号间的干扰所产生的跳跃等。较理想的是,电信号测试装置可以对器件输入施加了由传输线路损耗等引起的跳跃的测试信号,并对该器件的跳跃性能进行测试。然而存在如下的问题:由传输线路损耗引起的跳跃的大小会因在器件之间传输的传输信号的波形图像而变得不同。
[0004]因此,本说明书中所包含的发明一个方面的目的在于提供一种能够解决上述技术问题的全自动IC电信号测试装置以及测试方法。该目的由权利要求书中的独立权利要求所述的特征组合来实现。并且,从属权利要求规定了本发明的更为有利的具体例。

【发明内容】

[0005]为了解决上述问题,本发明的目的之一是提供一种全自动IC电信号测试装置,其是对IC器件进行测试的全自动IC电信号测试装置,包括:图像生成???,产生用于规定应供给至IC器件的测试信号的测试图像;时序信号生成???,产生表示将测试信号供给至IC器件的时序的时序信号;滤波???,对测试图像进行滤波,输出表示与测试图像相对应控制信号;波动处理???,根据控制信号而使时序信号延迟,借此将跳跃施加至时序信号;以及波形图,以施加了跳跃的时序信号为基准,生成已形成了测试图像的测试信号。
[0006]本发明目的之一的技术方案通过以下内容来实现,所述全自动IC电信号测试装置包括:信号输出???,将测试信号输出至上述IC器件;信号输入???,输入根据测试信号而自IC器件输出的输出信号;图像生成???,产生用于规定应自IC器件输出的输出信号的预期值图像;时序信号生成???,产生表示对预期值图像与输出信号进行比较的时序的选通信号;滤波???,对预期值图像进行滤波,输出表示与预期值图像相对应控制信号;波动处理???,根据控制信号而使选通信号延迟,以此使跳跃施加至选通信号;以及比较???,以施加了跳跃的选通信号的时序,对输出信号与预期值图像进行比较。
[0007]另外,本发明的目的之二是提供一种测试方法,其是对IC器件进行测试的测试方法,包括:产生测试图像的阶段,该测试图像用于规定应供给至IC器件的测试信号;产生时序信号的阶段,该时序信号表示将测试信号供给至IC器件的时序;对测试图像进行滤波,并输出表示与测试图像相对应控制信号的阶段;根据控制信号而使时序信号延迟,借此来将跳跃施加至时序信号的阶段;以及以施加了跳跃的时序信号为基准,生成已形成了测试图像的测试信号的阶段。
[0008]本发明目的之二的技术方案通过以下内容来实现,所述IC器件进行测试的测试方法,包括:将测试信号输出至IC器件的阶段;输入输出信号的阶段,该输出信号是根据测试信号而自IC器件输出的信号;产生预期值图像的阶段,该预期值图像用于规定应自IC器件输出的输出信号;产生选通信号的阶段,该选通信号表示对预期值图像与输出信号进行比较的时序;对预期值图像进行滤波,并输出表示与预期值图像相对应控制信号的阶段;根据控制信号而延迟选通信号,以此使跳跃施加至选通信号的阶段;以及以施加了跳跃的选通信号的时序,对输出信号与预期值图像进行比较的阶段。
[0009]上述发明概要并未列举出本发明的所有必要特征,这些特征群的次组合也可以成为发明。
【附图说明】
[0010]图1与IC器件100 —起表示本发明的实施方式涉及的全自动IC电信号测试装置20的构成。
[0011]图2表示本发明的实施方式的跳跃控制???6以及波动处理???8的构成。
[0012]图3表示本发明的实施方式的可变延迟???2的构成的一例。
[0013]图4表示经过传输线路前的逻辑反转频率高的信号波形以及经过传输线路后的逻辑反转频率高的信号波形。
[0014]图5表示经过传输线路前的逻辑反转频率低的信号波形以及经过传输线路后的逻辑反转频率低的信号的波形。
[0015]图6表示由本发明的实施方式涉及的任意波形产生???8生成的显示正弦波跳跃的任意波形跳跃信号的产生概率。
[0016]图7表示本发明的实施方式的概率波动???0的构成的一例。
[0017]图8表示由本发明的实施方式的概率波动???0生成的随机跳跃信号的产生概率。
[0018]图9表示将显示正弦波跳跃的任意波形跳跃信号与随机跳跃信号相加所得的跳跃信号的产生概率。
[0019]图10与IC器件100 —起表示本发明的实施方式的第I变形例的全自动IC电信号测试装置20的构成。
[0020]图11表示本发明的实施方式涉及的第2变形例的时序信号生成???4的构成与跳跃控制???6。
[0021]附图标记说明:20:全自动IC电信号测试装置,22:图像生成???,24:时序信号生成???,26:跳跃控制???,28:波动处理???,30:波形图,32、44:信号输出???,34、40:信号输入???,36:比较???,42:可变延迟???,56:滤波???,58:任意波形产生???,60:概率波动???,62:AD转换器,64、302:求和???66:增益控制???,68:施加控制???,70:外??槭敝邮淙肽??,72:内??槭敝硬??,74:时钟选择???,100:1C器件,200:延迟元件,202:选择器,204:选择器控制???,300:LFSR,304:求差???,306:概率输出???,310:移位寄存器,402:第I相加器,404:第2相加器,406:累加???,408:锁存器,410:第3相加器,412:粗延迟电路,414:微小延迟电路,416:跳跃施加切换???。
【具体实施方式】
[0022]下面根据发明的实施方式来对本发明进行说明,但以下的实施方式并不对申请专利范围的发明进行限定,且在实施方式中所说明的特征的组合,并非全??槭欠⒚鹘饩鍪侄沃兴匦璧?。
[0023]图1表示本发明的实施方式的全自动IC电信号测试装置20的构成与IC器件100。全自动IC电信号测试装置20将施加了跳跃的测试信号输出至IC器件100,并根据该测试信号对自IC器件100输出的输出信号与预期值进行比较,借此来对IC器件100进行测试。全自动IC电信号测试装置20包括图像生成???2、时序信号生成???4、跳跃控制???6、波动处理???8、波形图30、信号输出???2、信号输入???4以及比较???6。
[0024]图像生成???2产生用于规定应供给至IC器件100的测试信号的测试图像。作为图像生成???2的一例,可以产生用于规定应供给至IC器件100的测试信号的波形的测试图像。更具体而言,作为图像生成???2的一例,可以在每个规定的测试周期中产生一种测试图像,该测试图像用于指定测试信号的上升边缘距离基准时序的延迟量以及测试信号的下降边缘距离基准时序的延迟量。此外,图像生成???2产生规定一种输出信号的预期值图像,该输出信号应根据测试信号的供给而自IC器件100输出。例如,图像生成???2可以产生用于规定应该从IC器件100输出的输出信号的逻辑值的预期值图像。
[0025]时序信号生成???4产生时序信号,该时序信号表示将测试信号供给至IC器件100的时序。作为一例,时序信号生成???4可以产生表示测试周期中的基准时序的时序信号。此外,时序信号生成???4产生选通信号,该选通信号表示对预期值图像与输出信号进行比较的时序。
[0026]跳跃控制???6输出控制信号,该控制信号表示应施加至测试信号的跳跃。作为一例,跳跃控制???6可以输出数字值来作为控制信号,该数字值表示应施加至测试信号的跳跃的大小。波动处理???8根据控制信号而使时序信号延迟,借此来将跳跃施加至时序信号。作为波动处理???8的一例,可以在每个测试周期中,使由时序信号生成???4产生的时序信号延迟由控制信号表示的值。接着,波动处理???8将施加了跳跃的时序信号供给至波形图30。
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